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產(chǎn)品參數(shù)

1、 集成電路組件的激光清洗 集成電路封裝中模常常填塞IC 導(dǎo)架。

隨IC 集成度的提高，針腳越來越多，孔也越來越小。 傳統(tǒng)方法難以清除小孔模閃。準(zhǔn)分子激光剝離能夠徹底清除小孔模閃。使用激光消閃有著其 他方法不可比擬的優(yōu)越性。顯然激光消閃將成為最合適的IC 消閃技術(shù)。 激光消閃一般使用KrF 準(zhǔn)分子激光器。波長248nm ，脈寬20ns。用直徑50nm ，焦距50mm 的平凸透鏡聚焦，在空氣中激光束垂直入射。 

2.集成電路組件激光退標(biāo)在集成電路的生產(chǎn)中常會發(fā)生封裝標(biāo)記質(zhì)量不好或者出現(xiàn)差錯，還有的用戶臨時改變設(shè)計(jì)，在重新標(biāo)記前需要清除已有標(biāo)記。

傳統(tǒng)的清除方法速度低，自動化程度差，處理后表面粗糙， 限制了其在集成電路中的應(yīng)用。準(zhǔn)分子激光退標(biāo)效率高，而且標(biāo)記質(zhì)量好。激光退標(biāo)必須適 當(dāng)控制剝除深度，太深會影響IC 芯片，降低抗?jié)駳馇忠u的能力，太淺則標(biāo)記不能徹底清除。 采用較高能量密度和較高重復(fù)頻率可節(jié)省時間。 激光退標(biāo)的同時也將表面的灰塵、油脂和氧化物等清除干凈，露出純凈的模材，重新標(biāo)記后 耐久性更好。 

3.大型天文望遠(yuǎn)鏡的清洗 

大型望遠(yuǎn)鏡由于露天使用，鏡面常被微粒污染，使鏡面反射率下降，導(dǎo)致影像背影加重，是 天文觀測遇到的大問題。大的鏡面使用傳統(tǒng)方法難以清洗。采用 KrF  準(zhǔn)分子激光清洗，獲 得良好的效果。 激光束不能產(chǎn)生鏡面損傷的能量密度閥值隨波長的增加而提高。從避免損傷鏡面出發(fā)，選擇 較長的波長清洗比較安全，激光清洗的同時應(yīng)吹輔助氣體或抽氣，以便及時吹走或吸走輻照 區(qū)落下來的微粒，以防二次污染 。

4.磁頭滑座空氣軸承的清洗

在計(jì)算機(jī)的磁盤驅(qū)動器制造中，為增加存儲密度，磁頭飛行高度不斷減小約 0.1μm 左右，亞微米的顆粒就可能損壞滑座和磁盤表面，導(dǎo)致驅(qū)動系統(tǒng)失靈。因此在制造過程中，清洗滑座空氣軸承是必不可少的過程，而傳統(tǒng)的超聲清理效果很差，新的研究證明，激光清洗是非常有效的清洗磁頭滑座空氣軸承的方法。 磁頭滑座空氣軸承是由三氧化二鋁和碳化鈦制造的，在制造過程中，其表面通常黏附二氧化鋯微粒，先用強(qiáng)氣流吹掉松散的微粒，再進(jìn)行激光清洗。清洗前后用光學(xué)顯微鏡檢查表面黏 附的微粒數(shù)目。 

5.藝術(shù)品的激光清洗 

激光清洗古代的藝術(shù)珍品是一項(xiàng)相當(dāng)復(fù)雜的技術(shù)。目前激光清洗技術(shù)主要用于文物和大型建 筑清洗方面，而化學(xué)清洗會損傷其表面并危害環(huán)境。 

近年來多次采用激光清洗技術(shù)成功的清晰了舉世矚目的古建筑科隆大教堂。石 雕收藏品經(jīng)激光清洗后，也得到了同樣的效果。人們用電子顯微鏡觀察激光清洗后的石雕表 面，發(fā)現(xiàn)激光清洗后的石頭結(jié)構(gòu)沒有發(fā)生變化，被清洗的表面既光滑又平坦，沒有損傷。 利用準(zhǔn)分子激光清洗中國古代銅錢和金屬羅盤。表面污染物的微粒尺寸從小到分子團(tuán)，大到80μm都可清洗干凈，文物表面細(xì)微結(jié)構(gòu)和色澤保持原樣，毫無損傷。